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產(chǎn)品分類(lèi)
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MDPlinescan是一個(gè)易于集成的OEM單元,可集成到各種自動(dòng)化的檢測線(xiàn)。關(guān)鍵的測量參數是實(shí)時(shí)的載流子壽命掃描。
樣品通常由測量頭下的傳送帶或機器人系統來(lái)輸送。應用實(shí)例從晶錠到晶圓的檢測,每個(gè)晶圓的測量速度小于一秒。
電池生產(chǎn)線(xiàn)上的來(lái)料質(zhì)量檢查是用的一種應用方向,同樣,鈍化和擴散后的工藝質(zhì)量檢查也能用到此款產(chǎn)品。
還有許多其他的專(zhuān)門(mén)應用可能性。由于其易于集成,只需要以太網(wǎng)連接和電源。
允許單片調查
配方的基礎測量
監控材料質(zhì)量、工藝的完整性和穩定性
優(yōu)勢
在μ-PCD或穩態(tài)激發(fā)條件下測量少數載流子壽命和電阻率是這個(gè)工具的重點(diǎn)。
用于集成在生產(chǎn)線(xiàn)的多晶或單晶硅晶圓在不同的準備階段,直到設備,磚或錠。
小尺寸和標準的自動(dòng)化接口使集成變得容易。重點(diǎn)是長(cháng)時(shí)間的可靠性和測量結果的精度。
樣品 | 多晶或單晶晶圓原料, 晶錠,晶胞 |
樣品尺寸 | 大約50 x 50 mm2 |
電阻率 | 0.2 - 103 Ohm cm |
conduction type | p, n |
材質(zhì) | 硅晶圓,部分或*加工的晶圓,復合半導體等 |
測量屬性 | 載流子壽命 |
硬件接口 | ethernet |
大小 | 174 x 107 x 205 mm, 重量t: 3 kg |
電源 | 24 V DC, 2 A |
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