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產(chǎn)品中心

PRODUCTS CENTER

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MDPlinescan
產(chǎn)品簡(jiǎn)介

靈活的OEM設備,用于多種不同樣品的在線(xiàn)壽命測量:從單晶硅到多晶硅錠,從生成態(tài)晶圓片到不同鍍層或金屬化晶圓的過(guò)程控制。標準軟件接口,易于連接到許多處理或自動(dòng)化系統。

產(chǎn)品型號:
更新時(shí)間:2024-07-11
廠(chǎng)商性質(zhì):代理商
訪(fǎng)問(wèn)量:1300

應用范圍:靈活的OEM設備,用于多種不同樣品的在線(xiàn)壽命測量:從單晶硅到多晶硅錠,從生成態(tài)晶圓片到不同鍍層或金屬化晶圓的過(guò)程控制。標準軟件接口,易于連接到許多處理或自動(dòng)化系統。

在線(xiàn)面掃和單點(diǎn)檢測

MDPlinescan是一個(gè)易于集成的OEM單元,可集成到各種自動(dòng)化的檢測線(xiàn)。關(guān)鍵的測量參數是實(shí)時(shí)的載流子壽命掃描。
樣品通常由測量頭下的傳送帶或機器人系統來(lái)輸送。應用實(shí)例從晶錠到晶圓的檢測,每個(gè)晶圓的測量速度小于一秒。
電池生產(chǎn)線(xiàn)上的來(lái)料質(zhì)量檢查是用的一種應用方向,同樣,鈍化和擴散后的工藝質(zhì)量檢查也能用到此款產(chǎn)品。

 

 

還有許多其他的專(zhuān)門(mén)應用可能性。由于其易于集成,只需要以太網(wǎng)連接和電源。                                                              
  

特性

允許單片調查
配方的基礎測量
監控材料質(zhì)量、工藝的完整性和穩定性

優(yōu)勢
在μ-PCD或穩態(tài)激發(fā)條件下測量少數載流子壽命和電阻率是這個(gè)工具的重點(diǎn)。
用于集成在生產(chǎn)線(xiàn)的多晶或單晶硅晶圓在不同的準備階段,直到設備,磚或錠。
小尺寸和標準的自動(dòng)化接口使集成變得容易。重點(diǎn)是長(cháng)時(shí)間的可靠性和測量結果的精度。

 

技術(shù)參數

樣品

多晶或單晶晶圓原料, 晶錠,晶胞

樣品尺寸

大約50 x 50 mm2

電阻率

0.2 - 103 Ohm cm

conduction type

p, n

材質(zhì)

硅晶圓,部分或*加工的晶圓,復合半導體等

測量屬性

載流子壽命

硬件接口

ethernet

大小

174 x 107 x 205 mm, 重量t: 3 kg

電源

24 V DC, 2 A

 

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